姜子炎等使用自制的流化床作为反应装置，通过改变进入流化床的气体流速使微硅粉达到最佳流化效果。结果表明，在空气的气氛下，煅烧温度设置为700℃，反应时间为3h,样品中二氧化硅质量分数从81.62%升至86.97%，游离碳质量分数从1.25%降至0.027%，烧失量从3.36%降至0.99%，样品颗粒粒度变大，表面光滑度提高。

范旭使用流化床煅烧塔，在富氧的环境下提纯微硅粉，能够提高提纯效率，缩短煅烧时间，加快微硅粉中残留碳的氧化速率，有效预防微硅粉中二氧化硅颗粒的黏结团聚和熔融。结果表明，在氧气气氛达到32%、煅烧温度为900℃、煅烧时间为3h的反应条件下，可以达到最佳除碳效果。

采用煅烧法提纯微硅粉效果较为明显，适应性强且除碳效率高。但煅烧法对煅烧装置、煅烧环境和产品捕集器等工艺设备要求较高，导致企业生产成本增加，同时煅烧法对去除微硅粉中的金属氧化物杂质效率低。建议采用煅烧法结合其他提纯技术对微硅粉提纯。